電化學(xué)納米印刷術(shù)用于制造金屬連接件
2008年09月24日 8:38 6249次瀏覽 來(lái)源： 中國(guó)有色網(wǎng) 分類(lèi)： 新技術(shù)
美國(guó)伊里諾伊州立大學(xué)的研究人員開(kāi)發(fā)出了簡(jiǎn)單易行的電化學(xué)工藝用于金屬互連線及其他納米結(jié)構(gòu)的直接布線。這種稱(chēng)之為S4技術(shù)的工藝，首先用聚焦離子束在沖壓模具上刻出所需圖形，模具由硫化銀之類(lèi)的超離子材料制成。超離子材料中，金屬離子幾乎可以在晶格中自由運(yùn)動(dòng)。
將模具置于襯底上，施加電壓，在界面接觸點(diǎn)上引起電化學(xué)反應(yīng)。反應(yīng)產(chǎn)生的金屬離子穿越交界面進(jìn)入模具中。隨著反應(yīng)進(jìn)行模具深入襯底，在其上產(chǎn)生與模具圖形相反的圖案，目前達(dá)到的水平是分辨率為50nm，研究人員正在開(kāi)發(fā)更理想工具以便進(jìn)一步提高分辨率。
責(zé)任編輯：kitty
如需了解更多信息，請(qǐng)登錄中國(guó)有色網(wǎng)：www.gzjcgq.com了解更多信息。
中國(guó)有色網(wǎng)聲明：本網(wǎng)所有內(nèi)容的版權(quán)均屬于作者或頁(yè)面內(nèi)聲明的版權(quán)人。
凡注明文章來(lái)源為“中國(guó)有色金屬報(bào)”或 “中國(guó)有色網(wǎng)”的文章，均為中國(guó)有色網(wǎng)原創(chuàng)或者是合作機(jī)構(gòu)授權(quán)同意發(fā)布的文章。
如需轉(zhuǎn)載，轉(zhuǎn)載方必須與中國(guó)有色網(wǎng)（ 郵件：cnmn@cnmn.com.cn 或 電話(huà)：010-63971479）聯(lián)系，簽署授權(quán)協(xié)議，取得轉(zhuǎn)載授權(quán)；
凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：“XXX（非中國(guó)有色網(wǎng)或非中國(guó)有色金屬報(bào)）”的文章，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不構(gòu)成投資建議，僅供讀者參考。
若據(jù)本文章操作，所有后果讀者自負(fù)，中國(guó)有色網(wǎng)概不負(fù)任何責(zé)任。
