有研集團(tuán)一項(xiàng)目獲有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)
2022年03月24日 9:21 4309次瀏覽 來源： 中國(guó)有色金屬報(bào) 分類： 重點(diǎn)新聞 作者： 劉丹
近日，有研科技集團(tuán)有限公司所屬的有研億金新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱有研億金）主持完成的“集成電路用超高純銅及其合金互連材料的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。
超高純金屬濺射靶材是集成電路制造用關(guān)鍵材料之一。在數(shù)字經(jīng)濟(jì)驅(qū)動(dòng)下，半導(dǎo)體行業(yè)的長(zhǎng)期景氣和國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程的加速，對(duì)高性能靶材的需求持續(xù)提升。超高純銅及其合金靶材是先進(jìn)集成電路制造工藝中最重要的互連線材料。在12英寸晶圓制造中，用于90nm至7nm先進(jìn)制程芯片內(nèi)元件互連，在后道先進(jìn)封裝中用于芯片間高密度封裝。近年來，隨著全球12英寸晶圓廠不斷涌現(xiàn)（2021年達(dá)到120余座，其中，國(guó)內(nèi)達(dá)到40余座），超高純銅及其合金靶材年需求量持續(xù)增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)僅國(guó)內(nèi)市場(chǎng)用量就達(dá)到萬塊以上。突破超高純銅及其合金靶材全流程關(guān)鍵技術(shù)國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主保障能力刻不容緩。
該項(xiàng)目成功突破了超高純銅深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀組織調(diào)控、高可靠焊接、超高純銅原材料的梯次應(yīng)用及低碳綠色可循環(huán)利用等多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)，成為全球僅有的三家掌握99.9999%級(jí)超高純銅及其合金從原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術(shù)的企業(yè)之一。該產(chǎn)品性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，躋身我國(guó)集成電路用關(guān)鍵材料超高純銅及其合金靶材核心供應(yīng)商，改變了該項(xiàng)產(chǎn)品長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷的被動(dòng)局面，為極大規(guī)模集成電路技術(shù)發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，有力地保障了我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈安全。
有研億金將致力于集成電路用關(guān)鍵材料核心技術(shù)的新突破，努力成為集成電路核心材料領(lǐng)域的“領(lǐng)跑者”，爭(zhēng)當(dāng)科技創(chuàng)新主力軍。
責(zé)任編輯：孟慶科
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