國內(nèi)首條超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)
2020年02月27日 10:30 8494次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 鋁資訊
打破國外壟斷，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)保駕護(hù)航
國內(nèi)首條超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)
在全國人民抗擊新冠病毒肺炎疫情關(guān)鍵時期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產(chǎn)經(jīng)營。日前，該公司成功開發(fā)出了國內(nèi)領(lǐng)先的全套超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)工藝和技術(shù)，成為獨(dú)立于歐洲海德魯鋁業(yè)公司、日本住友化學(xué)體系公司外的第三條完整產(chǎn)業(yè)鏈。通過多方驗(yàn)證，產(chǎn)品全面符合市場要求，成功實(shí)現(xiàn)了批量供貨。
高純?yōu)R射靶材是伴隨著全球半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展而興起的，集成電路產(chǎn)業(yè)成為目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，半導(dǎo)體用靶材基材制備被譽(yù)為材料制備工業(yè)王冠上明珠。
一段時間以來，中國擁有鋁基生產(chǎn)濺射靶材所需的各種基礎(chǔ)礦源，但金屬提純技術(shù)主要由美國、日本、挪威、法國等國家掌握。國內(nèi)靶材廠商主要通過從國外進(jìn)口獲得高純金屬及基材供應(yīng)，每年達(dá)數(shù)千噸，價格較高且不能及時交貨。
新疆眾和作為我國鋁電子新材料研制企業(yè)，是國內(nèi)最早規(guī)模開發(fā)、生產(chǎn)高純鋁的企業(yè)，積累了30余年的高純鋁研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。在公司上下同心的全力支持下，公司破釜沉舟，克服重重困難，開始了十余年的超高純鋁濺射靶基材研發(fā)之路，通過與集成電路相關(guān)企業(yè)承擔(dān)國家專項(xiàng)項(xiàng)目聯(lián)合研發(fā)，決定建設(shè)超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規(guī)模生產(chǎn)過程中雜質(zhì)元素污染、產(chǎn)品表面質(zhì)量及內(nèi)部晶粒組織細(xì)化控制、氫含量必須小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終打通了超高純鋁濺射靶基材的工藝技術(shù)，成為國內(nèi)唯一一家可以規(guī)模生產(chǎn)超高純鋁濺射靶基材企業(yè)，鋁純度可達(dá)到99.9995%（5N5）。同時，新疆眾和、東北大學(xué)聯(lián)合申報的“潔凈、細(xì)晶5N5超高純鋁的制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目還榮獲2019年中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎。
新疆眾和 劉建昊、席德雄
責(zé)任編輯：王慧
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