金川集團(tuán)兩個(gè)系列靶材項(xiàng)目通過驗(yàn)收
實(shí)現(xiàn)國家半導(dǎo)體關(guān)鍵超高純金屬材料及靶材國產(chǎn)化突破
2018年06月15日 10:16 2708次瀏覽 來源： 中國有色金屬報(bào) 分類： 科技創(chuàng)新
本報(bào)訊 5月31日，在浙江省寧波余姚召開的國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱02重大專項(xiàng)）驗(yàn)收會(huì)上，金川集團(tuán)公司承擔(dān)的“十二五”國家科技重大專項(xiàng)“45-28nm配線用超高純系列濺射靶材開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”（02專項(xiàng)）順利通過國家02專項(xiàng)辦公室組織的專家組驗(yàn)收。
《國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006~2020年）》在重點(diǎn)領(lǐng)域中確定一批優(yōu)先主題的同時(shí)，圍繞國家目標(biāo)，進(jìn)一步突出重點(diǎn)，篩選出若干重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)或重大工程作為重大專項(xiàng)，力爭(zhēng)取得突破，努力實(shí)現(xiàn)以科技發(fā)展帶動(dòng)生產(chǎn)力的跨越發(fā)展。國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)（02專項(xiàng)）包含7個(gè)子課題，由寧波江豐電子牽頭，聯(lián)合金川集團(tuán)等7家單位共同承擔(dān)。其中，金川集團(tuán)承擔(dān)005課題“45-28nm配線用超高純Cu合金制備與產(chǎn)業(yè)化”和006課題“45-28nm配線用超高純Co、Ni材料制備與產(chǎn)業(yè)化”2個(gè)子課題。經(jīng)過項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān)，先后完成了關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備和合成工藝研究、相關(guān)裝備的研發(fā)等，技術(shù)和財(cái)務(wù)達(dá)到項(xiàng)目任務(wù)書要求，達(dá)到了任務(wù)書中規(guī)定的考核指標(biāo)。
由金川集團(tuán)科技開發(fā)部和蘭州金川科技園組成的課題組向與會(huì)專家匯報(bào)了項(xiàng)目及課題的完成情況、財(cái)務(wù)執(zhí)行情況，回答了專家組的現(xiàn)場(chǎng)質(zhì)詢。與會(huì)專家經(jīng)過審閱驗(yàn)收資料并認(rèn)真討論，一致同意該項(xiàng)目通過驗(yàn)收。該項(xiàng)目的成功實(shí)施，實(shí)現(xiàn)了國家半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵超高純金屬材料及其濺射靶材的國產(chǎn)化突破，將有效帶動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
（于彭波）
責(zé)任編輯：楊凈茹
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